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傳統(tǒng)真空系統(tǒng)存在的問題
傳統(tǒng)減壓拉晶工藝的直拉單晶爐真空系統(tǒng)見圖1。其工作原理是剛開始工作時，拉伸腔和爐膛之間的隔離閥是打開的，主滑閥真空泵8 通過主真空球閥1 將拉伸腔和爐膛內(nèi)氣體抽出，要求爐膛內(nèi)的極限真空度達到6.67Pa以下，主
2014.04.23
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