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分子真空泵是在 1911 年由德國人蓋德 (w · Gaede) 首先發(fā)明的,并闡述了分子泵的抽氣理論,使機械真空泵在抽氣機理上有了新的突破。分子泵的抽氣機理與容積式機械泵靠泵腔容積變化進行抽氣的機理不同,分子泵是在分子流區(qū)域內(nèi)靠高速運動的剛體表面?zhèn)鬟f給氣體分子以動量,使氣體分子在剛體
2014.09.09
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